刘焱看了一下里面正在工作的数控磨床，说道：

“这几台机床刚运过来，我过来看一下情况，这台数控磨床怎么样，加工精度还可以吧？”

廉安平教授兴奋的点点头，说道：

“可以，太可以了，前面已经加工完一枚玻璃透镜，经过测量，误差在40nm以内，比标称值还要好。”

刘焱呵呵一笑，说道：

“如此就好，那两台五轴加工中心呢，测试过没有？”

廉安平教授摇摇头，说道：“还没有，五轴加工中心安装时，对地面材质和水平度的要求更严格，隔壁实验室正在进行地面改造。需要过几天，改造完成之后，才能安装五轴加工中心，进行测试。”

刘焱继续追问道：

“廉教授，有了这三台设备，你们能在多长时间内拿出光刻机测试样机？”

廉安平教授沉吟一下，说道：

“如果一切顺利的话，最快一个月，我们就能制作出测试样机，三个月内，就能定型量产。只是光刻机这东西，销量终究有限，就算我们能够量产一微米光刻机了，也卖不出几台，怕是很难收回研发成本。”

廉安平教授说的是实情，这个年代，国内的晶圆工厂，一共也没几家，大多规模不大，设备老旧，想升级到一微米制程，也没那么多的资金投入。

国外的情况能好一些，半导体产业蓬勃发展，欧米，日韩，都有一些晶圆工厂，他们有意愿，也有钱，更新设备将制程提到一微米。